單晶125*125
單晶156*156
多晶156*156
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(1) 切片:采用多線切割,將硅棒切割成正方形的硅片。 ?? (2) 清洗:用常規(guī)的硅片清洗方法清洗,然后用酸(或堿)溶液將硅片表面切割損傷層除去30-50um。 ?? (3) 制備絨面:用堿溶液對硅片進行各向異性腐