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知道的說(shuō)一下mems麥克風(fēng)原理是什么?

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提問(wèn)者:童睿聰| 懷化| 1229次瀏覽
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已有1條回答

劉清欽
回答數(shù):168800 | 被采納數(shù):51

原理:像ECM一樣,MEMS麥克風(fēng)也是電容麥克風(fēng)。MEMS麥克風(fēng)包含一個(gè)靈活懸浮的薄膜,它可在一個(gè)固定背板之上自由移動(dòng),所有元件均在一個(gè)硅晶圓上制造。該結(jié)構(gòu)形成一個(gè)可變電容,固定電荷施加于薄膜與背板之間。傳入的聲壓波通過(guò)背板中的孔,引起薄膜運(yùn)動(dòng),其運(yùn)動(dòng)量與壓縮和稀疏波的幅度成比例。這種運(yùn)動(dòng)改變薄膜與背板之間的距離,進(jìn)而改變電容。在電荷恒定的情況下,此電容變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。


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