一.概述隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，出現(xiàn)了許多特殊用途的微電子器件和電路，這類產(chǎn)品在組裝完成后封裝前，為了避免受大氣中的氧氣、水汽、塵埃及其它微量腐蝕性有害氣體的影響，需保存在高純氮氣環(huán)境中，因此對氮氣凈化儲存柜的需求量越來越大。本設(shè)備通過對國外引進的氣密封焊等設(shè)備充氮系統(tǒng)的分析，并根據(jù)具體使用要求，經(jīng)過多次的設(shè)計改進，研制出國內(nèi)首款采用微電腦芯片全程控制氮氣源并自動達到設(shè)定濕度的充氮貯存系統(tǒng)。本設(shè)備具有操作簡單，人性化管理，節(jié)約使用成本，自動恒濕恒壓等特點。二.主要技術(shù)指標(biāo)產(chǎn)品型號：QUX-3150內(nèi)腔尺寸：1350mm×1870mm×600mm（W×H×D）。靜態(tài)氮氣消耗量：<0.5m3/h。系統(tǒng)氮氣正壓:約50mm水柱。三.系統(tǒng)工作原理高純氮由氣瓶經(jīng)減壓器將壓力降到1.5-1.8MPa以下，接入設(shè)備的氮氣輸入口，氮氣接入口位于設(shè)備右側(cè)的控制盒背板正下方（進氣管請選用φ6氣管），氮氣進入氣源接駁口后進入電磁閥，再流入流量計，最后直接進入貯存室。整個系統(tǒng)控制是通過微電腦芯片對電磁閥的吸合狀態(tài)進行有效管理來完成。當(dāng)電源接通后，電磁閥作為任務(wù)完成的執(zhí)行部件即開始工作，這時會聽到電磁吸合的碰撞聲，表示氣源已開通；沖氣過程中，電磁閥的所有開關(guān)動作都處于微電腦芯片中的執(zhí)行程序的控制下，直到濕度達到設(shè)定值；當(dāng)貯存環(huán)境的濕度恒定狀態(tài)被打破，微電腦芯片會重新執(zhí)行程序。系統(tǒng)的調(diào)整主要是進氣壓力和流量的調(diào)整，這兩個參數(shù)有聯(lián)系且相互影響。先調(diào)節(jié)氣瓶減壓閥，建議氣壓值在1.5MPa～1.8MPa之間選擇。當(dāng)設(shè)定進氣氣壓值后，下一步調(diào)節(jié)流量計上的流量調(diào)節(jié)閥。具體調(diào)節(jié)數(shù)值因使用情況不同而有所區(qū)別，根據(jù)經(jīng)驗，一般取1.5-2L/min，就可滿足要求。在這種狀態(tài)下靜態(tài)的氮氣消耗量很小，一般1滿瓶氮氣可用大約半個月，實際使用中應(yīng)盡量減少開門次數(shù)，否則會使氮氣消耗量增加。開門時，可將流量調(diào)整至10L/min，這樣可將外界潮濕氣流的干擾降到最低，大約30分鐘后再恢復(fù)到1.5-2L/min。最后，順便介紹一下日常維護。氮氣儲存柜在使用一段時間后，由于取放工件等原因，使凈化度指標(biāo)下降（可用專門的測試儀定期檢測）。這時可取出工件，先用吸塵器進行清潔處理，再用綢布沾上酒精清洗，最后用高純氮氣吹干，即可重新投入使用。需要指出的是，輸入的高純氮氣的純凈度必須達到相關(guān)指標(biāo)（99.99％），否則，氮氣儲存柜的凈化度及儲存效果難以達到要求；四.氮氣儲存柜使用步驟：1.     將氮氣瓶或氮氣發(fā)生氣上的外延連接管跟氮氣儲存柜右側(cè)控制盒下方的接氣嘴連接起來；建議使用φ6優(yōu)質(zhì)軟氣管。如使用其它口徑氣管須用連接頭轉(zhuǎn)換再接；2.     將外接電源線連接在220V/50HZ電源插座上；3.     預(yù)置濕度：通過操作面板中間兩個按鍵完成。左側(cè)鍵增加濕度，右側(cè)鍵減少濕度；操作面板左側(cè)的LED數(shù)碼管顯示器有溫度及濕度顯示窗口，按鍵右側(cè)為半圓形動態(tài)顯示裝置；當(dāng)濕度值達到后，紅色LED燈全亮；最右側(cè)為貯存區(qū)照明按鈕開關(guān)（附1分鐘延時功能，放便在不打開門的狀態(tài)觀察貯存室內(nèi)的貯存物品）；4.     將氮氣源壓力調(diào)整在1.5-1.8MPA的位置上（通過氮氣瓶上的壓力表調(diào)整）；如果氮氣源的壓力小于1.5MPA，將不能推動電磁閥工作，這時會關(guān)閉電磁閥；當(dāng)?shù)獨庠磯毫_到1.5MPA以上，這時可驅(qū)動電磁閥供氣，供氣時間25-30分鐘即可將濕度降至20%RH，濕度達到預(yù)置值后，微電腦芯片會給電磁閥發(fā)出指令，自動關(guān)閉該路氣源；5.     當(dāng)開啟門取放物料時，可在開起門之前先將流量調(diào)整至10L/min，以阻隔外界空氣對柜內(nèi)濕度的影響，拿取物料后將流量調(diào)整至1.5-2L/min，同時電磁閥會恢復(fù)1.5-2L/min的維持性不間斷供氣；6.     照明系統(tǒng)：本設(shè)備采用環(huán)保節(jié)能的LED照明技術(shù)，功率為3W，光源為冷光源，能有效避免直射光源對貯存物品的影響.