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潔凈室溫濕度控制過程是怎樣的

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提問者:駱睿思| 永州| 1045次瀏覽
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已有3條回答

回答數:3284 | 被采納數:18

潔凈室溫度和濕度都要控制,但不僅僅是這兩項要控制;還有壓差、風量、塵埃粒子、微物物等都 要控制明白嗎?是個綜合系統!


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吃草不吐兔子
回答數:7376 | 被采納數:12

溫濕度控制系統的被控參數是潔凈室的溫度和濕度。溫度與濕度通過溫度傳感器與濕度傳感器輸出的電信號送到控制器《戶LC)后,經過A/D轉換。控制器根據A/D轉換后的溫濕度偏差和溫濕度偏差變化率,經過模糊自調整PID的調節,然后通過送風溫度、回風溫度的串級控制和分段控制,并設置了PID控制容限,將PID的輸出分成加熱、制冷或加濕信號,來分別控制熱水閥、冷水閥和加濕閥的開度,從而實現了對室內溫濕度的控制。


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kuale159
回答數:10036 | 被采納數:7

潔凈室的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
  凈化工程具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
  濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產最佳溫度范圍為35—45%。


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